Profileur photoélectrique DRK8090

Cet instrument adopte une méthode de mesure interférométrique à déphasage optique sans contact, n'endommage pas la surface de la pièce pendant la mesure, peut mesurer rapidement les graphiques tridimensionnels de la micro-topographie de surface de diverses pièces, et analyser et calculer la mesure résultats.

Description du produit
Caractéristiques : convient pour mesurer la rugosité de surface de divers blocs étalons et pièces optiques ; la profondeur du réticule de la règle et du cadran ; l'épaisseur du revêtement de la structure de rainure de réseau et la morphologie de la structure de la limite du revêtement ; la surface du disque magnétique (optique) et la mesure de la structure de la tête magnétique ; mesure de la rugosité de la surface des plaquettes de silicium et de la structure du motif, etc.
En raison de la grande précision de mesure de l'instrument, il présente les caractéristiques d'une mesure sans contact et tridimensionnelle, et adopte un contrôle informatique ainsi qu'une analyse et un calcul rapides des résultats de mesure. Cet instrument convient à tous les niveaux d'unités de recherche de tests et de mesures, aux salles de mesure des entreprises industrielles et minières, aux ateliers de traitement de précision, et convient également aux établissements d'enseignement supérieur et aux instituts de recherche scientifique, etc.
Les principaux paramètres techniques
Plage de mesure de la profondeur des irrégularités microscopiques de surface
Sur une surface continue, lorsqu'il n'y a pas de changement brusque de hauteur supérieur à 1/4 de longueur d'onde entre deux pixels adjacents : 1000-1 nm
Lorsqu'il y a une mutation en hauteur supérieure à 1/4 de la longueur d'onde entre deux pixels adjacents : 130-1 nm
Répétabilité de la mesure : δRa ≤0,5 nm
Grossissement de l'objectif : 40X
Ouverture numérique : Φ 65
Distance de travail : 0,5 mm
Champ de vision de l'instrument Visuel : Φ0,25 mm
Photographie : 0,13 × 0,13 mm
Grossissement de l'instrument Visuel : 500×
Photographie (observée par écran d'ordinateur)-2500×
Tableau de mesure du récepteur : 1000X1000
Taille des pixels : 5,2 × 5,2 µm
Temps d'échantillonnage (balayage) du temps de mesure: 1S
Réflectivité du miroir standard de l'instrument (élevée) : ～50 %
Réflectance (faible) : ～4 %
Source d'éclairage : lampe à incandescence 6V 5W
Longueur d'onde du filtre d'interférence vert : λ≒530 nm
Demi-largeur λ≒10nm
Levage principal du microscope : 110 mm
Table élévatrice : 5 mm
Plage de mouvement dans les directions X et Y : ～10 mm
Plage de rotation de la table de travail : 360°
Plage d'inclinaison de la table de travail : ±6°
Système informatique : P4, 2,8 G ou plus, écran plat de 17 pouces avec 1 G ou plus de mémoire